実体顕微鏡で覗いて見れば

エッチングした基板を、実体顕微鏡で観察してみました。
使ったのはサンハトヤの感光基板で、プリンタはキャノンのインクジェット。用紙はインクジェット用OHPシート。
設定は、用紙設定は「OHPシート」とし、画質は「きれい」、「グレースケール」、「濃度は最大」でやっています。解像度は600dpiになります。
なお、一回の印刷では濃度が足りないので、更に2回上書きしてインクの濃度(と言うか密度)を上げています。
感光は、当日は薄曇でしたので、２分位太陽に曝して行いました。

	この基板はかなり上手く行った方です。現像液、エッチング液共に新しく、現像、エッチングのどちらの工程も最短で行いました。 最も狭いパターンは、16milで作成しました。 写真ではちょっと判り難いのですが、スパッと綺麗な線は引けず、パターンの淵はギザギザしています。 これでも直線部分は比較的綺麗ですが、曲線や一部の斜め線の場合、エイリアシングが発生しています。
	実体顕微鏡で見ると、DIP部品の足用の穴も、やけに深く感じます（*´ー`) 。
	ICやベークがテカっているのは、防錆用のコート剤が塗られている為です。
	銅箔上のゴマみたいな黒い点々はピンホールです。OHPシートに３度塗りしても、一部に塗り斑が有った為、こうなります。しかしこれはかなり少なく、綺麗な方です。 エッチングする時のマスクの出来如何ではもっと沢山のピンホールが出来、本当にこれで通じるのかなあ？と思えたりします。

結局の所、細かいパターンが引ける事より、頑丈なマスクを形成する事を目指した方が良いです。

また、パターンはなるべく太めにした方が良いでしょう。と言いますのもエッチング液は、まずマスクの無い所を溶かして行きますが、次にマスクの下の銅箔を、側面から侵食します。
この為必要以上に狭いパターンを引いた場合、側面からの侵食で一部パターン切れを起したりします。

ちょっとやそっとのミスでも、断線等起さない程度のパターン幅を設定すべきですね。

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透明プラスティックのパッド容器にエッチング液を入れて、基板を裏向きにセットします。基板とパッド容器の底の間に割り箸でもなんでもいいのでゲタ(スペーサ)を入れます。
市販のバブル式容器は攪拌水流でレジストを傷めやすいので良くないからです。
銅泊が溶け出したエッチング液が重くなり沈み、新しくエッチング液に基板が浸かり続けます。
冬場はコタツの中で暖めて行います。
エッチング液は、試薬屋から塩化第二鉄の粉末を瓶詰めで安く買ってお湯に溶かして使います。
by ReTier (2008-01-10 01:05)